1 Scope of the Report
1.1 Market Introduction
1.2 Years Considered
1.3 Research Objectives
1.4 Market Research Methodology
1.5 Research Process and Data Source
1.6 Economic Indicators
1.7 Currency Considered
1.8 Market Estimation Caveats
2 Executive Summary
2.1 World Market Overview
2.1.1 Global Dry Etching System Annual Sales 2020-2031
2.1.2 World Current & Future Analysis for Dry Etching System by Geographic Region, 2020, 2024 & 2031
2.1.3 World Current & Future Analysis for Dry Etching System by Country/Region, 2020, 2024 & 2031
2.2 Dry Etching System Segment by Type
2.2.1 The Conductor Etching
2.2.2 Dielectric Etch
2.2.3 Polycrystalline Silicon Etching
2.3 Dry Etching System Sales by Type
2.3.1 Global Dry Etching System Sales Market Share by Type (2020-2025)
2.3.2 Global Dry Etching System Revenue and Market Share by Type (2020-2025)
2.3.3 Global Dry Etching System Sale Price by Type (2020-2025)
2.4 Dry Etching System Segment by Application
2.4.1 Semiconductors
2.4.2 Electronic Devices
2.5 Dry Etching System Sales by Application
2.5.1 Global Dry Etching System Sale Market Share by Application (2020-2025)
2.5.2 Global Dry Etching System Revenue and Market Share by Application (2020-2025)
2.5.3 Global Dry Etching System Sale Price by Application (2020-2025)
3 Global Dry Etching System by Company
3.1 Global Dry Etching System Breakdown Data by Company
3.1.1 Global Dry Etching System Annual Sales by Company (2020-2025)
3.1.2 Global Dry Etching System Sales Market Share by Company (2020-2025)
3.2 Global Dry Etching System Annual Revenue by Company (2020-2025)
3.2.1 Global Dry Etching System Revenue by Company (2020-2025)
3.2.2 Global Dry Etching System Revenue Market Share by Company (2020-2025)
3.3 Global Dry Etching System Sale Price by Company
3.4 Key Manufacturers Dry Etching System Producing Area Distribution, Sales Area, Product Type
3.4.1 Key Manufacturers Dry Etching System Product Location Distribution
3.4.2 Players Dry Etching System Products Offered
3.5 Market Concentration Rate Analysis
3.5.1 Competition Landscape Analysis
3.5.2 Concentration Ratio (CR3, CR5 and CR10) & (2020-2025)
3.6 New Products and Potential Entrants
3.7 Mergers & Acquisitions, Expansion
4 World Historic Review for Dry Etching System by Geographic Region
4.1 World Historic Dry Etching System Market Size by Geographic Region (2020-2025)
4.1.1 Global Dry Etching System Annual Sales by Geographic Region (2020-2025)
4.1.2 Global Dry Etching System Annual Revenue by Geographic Region (2020-2025)
4.2 World Historic Dry Etching System Market Size by Country/Region (2020-2025)
4.2.1 Global Dry Etching System Annual Sales by Country/Region (2020-2025)
4.2.2 Global Dry Etching System Annual Revenue by Country/Region (2020-2025)
4.3 Americas Dry Etching System Sales Growth
4.4 APAC Dry Etching System Sales Growth
4.5 Europe Dry Etching System Sales Growth
4.6 Middle East & Africa Dry Etching System Sales Growth
5 Americas
5.1 Americas Dry Etching System Sales by Country
5.1.1 Americas Dry Etching System Sales by Country (2020-2025)
5.1.2 Americas Dry Etching System Revenue by Country (2020-2025)
5.2 Americas Dry Etching System Sales by Type
5.3 Americas Dry Etching System Sales by Application
5.4 United States
5.5 Canada
5.6 Mexico
5.7 Brazil
6 APAC
6.1 APAC Dry Etching System Sales by Region
6.1.1 APAC Dry Etching System Sales by Region (2020-2025)
6.1.2 APAC Dry Etching System Revenue by Region (2020-2025)
6.2 APAC Dry Etching System Sales by Type
6.3 APAC Dry Etching System Sales by Application
6.4 China
6.5 Japan
6.6 South Korea
6.7 Southeast Asia
6.8 India
6.9 Australia
6.10 China Taiwan
7 Europe
7.1 Europe Dry Etching System by Country
7.1.1 Europe Dry Etching System Sales by Country (2020-2025)
7.1.2 Europe Dry Etching System Revenue by Country (2020-2025)
7.2 Europe Dry Etching System Sales by Type
7.3 Europe Dry Etching System Sales by Application
7.4 Germany
7.5 France
7.6 UK
7.7 Italy
7.8 Russia
8 Middle East & Africa
8.1 Middle East & Africa Dry Etching System by Country
8.1.1 Middle East & Africa Dry Etching System Sales by Country (2020-2025)
8.1.2 Middle East & Africa Dry Etching System Revenue by Country (2020-2025)
8.2 Middle East & Africa Dry Etching System Sales by Type
8.3 Middle East & Africa Dry Etching System Sales by Application
8.4 Egypt
8.5 South Africa
8.6 Israel
8.7 Turkey
8.8 GCC Countries
9 Market Drivers, Challenges and Trends
9.1 Market Drivers & Growth Opportunities
9.2 Market Challenges & Risks
9.3 Industry Trends
10 Manufacturing Cost Structure Analysis
10.1 Raw Material and Suppliers
10.2 Manufacturing Cost Structure Analysis of Dry Etching System
10.3 Manufacturing Process Analysis of Dry Etching System
10.4 Industry Chain Structure of Dry Etching System
11 Marketing, Distributors and Customer
11.1 Sales Channel
11.1.1 Direct Channels
11.1.2 Indirect Channels
11.2 Dry Etching System Distributors
11.3 Dry Etching System Customer
12 World Forecast Review for Dry Etching System by Geographic Region
12.1 Global Dry Etching System Market Size Forecast by Region
12.1.1 Global Dry Etching System Forecast by Region (2026-2031)
12.1.2 Global Dry Etching System Annual Revenue Forecast by Region (2026-2031)
12.2 Americas Forecast by Country
12.3 APAC Forecast by Region
12.4 Europe Forecast by Country
12.5 Middle East & Africa Forecast by Country
12.6 Global Dry Etching System Forecast by Type
12.7 Global Dry Etching System Forecast by Application
13 Key Players Analysis
13.1 Plasma Etch
13.1.1 Plasma Etch Company Information
13.1.2 Plasma Etch Dry Etching System Product Portfolios and Specifications
13.1.3 Plasma Etch Dry Etching System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.1.4 Plasma Etch Main Business Overview
13.1.5 Plasma Etch Latest Developments
13.2 Hitachi
13.2.1 Hitachi Company Information
13.2.2 Hitachi Dry Etching System Product Portfolios and Specifications
13.2.3 Hitachi Dry Etching System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.2.4 Hitachi Main Business Overview
13.2.5 Hitachi Latest Developments
13.3 Panasonic
13.3.1 Panasonic Company Information
13.3.2 Panasonic Dry Etching System Product Portfolios and Specifications
13.3.3 Panasonic Dry Etching System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.3.4 Panasonic Main Business Overview
13.3.5 Panasonic Latest Developments
13.4 Thierry Corporation
13.4.1 Thierry Corporation Company Information
13.4.2 Thierry Corporation Dry Etching System Product Portfolios and Specifications
13.4.3 Thierry Corporation Dry Etching System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.4.4 Thierry Corporation Main Business Overview
13.4.5 Thierry Corporation Latest Developments
13.5 Samco
13.5.1 Samco Company Information
13.5.2 Samco Dry Etching System Product Portfolios and Specifications
13.5.3 Samco Dry Etching System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.5.4 Samco Main Business Overview
13.5.5 Samco Latest Developments
13.6 SPTS Technologies
13.6.1 SPTS Technologies Company Information
13.6.2 SPTS Technologies Dry Etching System Product Portfolios and Specifications
13.6.3 SPTS Technologies Dry Etching System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.6.4 SPTS Technologies Main Business Overview
13.6.5 SPTS Technologies Latest Developments
13.7 Shibaura
13.7.1 Shibaura Company Information
13.7.2 Shibaura Dry Etching System Product Portfolios and Specifications
13.7.3 Shibaura Dry Etching System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.7.4 Shibaura Main Business Overview
13.7.5 Shibaura Latest Developments
13.8 Oxford Instruments
13.8.1 Oxford Instruments Company Information
13.8.2 Oxford Instruments Dry Etching System Product Portfolios and Specifications
13.8.3 Oxford Instruments Dry Etching System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.8.4 Oxford Instruments Main Business Overview
13.8.5 Oxford Instruments Latest Developments
14 Research Findings and Conclusion
※参考情報 ドライエッチング装置は、半導体製造プロセスにおいて重要な役割を果たす装置です。ドライエッチングとは、化学反応や物理的なプロセスを用いて材料を選択的に除去する方法を指し、主に薄膜のパターン形成に利用されます。そのため、ドライエッチング装置は半導体デバイスの微細加工において欠かせない存在となっています。 ドライエッチングの基本的な定義としては、気体を利用して材料を反応させ、固体の層を除去することが挙げられます。このプロセスは、特に非常に微細なパターンを作成する際に効果的です。ドライエッチングにおいては、ウェハ表面に化学反応を促進するために、ガス状のエッチング剤(エッチャント)を用います。この方法は、ウェハの形状や材料に応じて選ばれるため、柔軟性があることが大きな特徴と言えるでしょう。 ドライエッチングは大きく分けて二つの方式に分類されます。ひとつは、反応性イオンエッチング(RIE)であり、もうひとつは、深部エッチング(DRIE)です。反応性イオンエッチングは、プラズマを用いてガスを活性化し、高エネルギーのイオンを生成します。これにより、イオンのエネルギーがウェハ上の材料に衝突し、選択的に材料が除去されます。RIEは、高い解像度とアスペクト比に応じたパターン形成が可能で、今や多くの半導体製造プロセスで採用されています。 一方、深部エッチングは、特に大きなアスペクト比を持つ構造物を形成する際に用いられる技術です。DRIEは、特にMEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)やナノテクノロジーの分野で利用されることが多く、非常に深い穴や溝を形成するのに適しています。この技術には、主にアルゴンフッ化物(CF4)などのエッチングガスが使われ、極端な条件下でも高い精度を保ちながら加工を行うことができます。 ドライエッチングの特徴は、非常に高い精度と再現性を持っている点にあります。また、液体エッチングに比べてエッチング液の廃棄や取り扱いの問題が少なく、環境への配慮もなされています。さらに、ドライエッチングはプロセスが自動化されており、短時間で大量生産を可能にするため、工業的な利用にも向いています。 用途としては、半導体製造が最も一般的ですが、他にも基板材料の表面処理、光学素子やマイクロデバイスの製造、さらにはナノテクノロジーにおける微細加工など多岐にわたります。このように、ドライエッチングは様々な分野で活用されており、その要求される精度や形状のバリエーションも豊富です。 関連技術としては、プラズマ生成技術や真空技術、素材コーティング技術などが挙げられます。特にプラズマ技術は、ドライエッチングの実施において極めて重要であり、プロセスの効率や性能を左右する要因となります。また、素材の選択やエッチング条件の最適化も、成功したドライエッチングプロセスを実現するために重要です。 今後の展望として、ドライエッチング装置はさらなる進化を遂げると考えられています。特に、次世代半導体デバイスの高集積化や、さらなる微細化に向けた技術開発が進められています。また、環境に配慮したエッチングプロセスや、ナノ尺度での高精度な加工技術のニーズも高まっているため、これらに応じた新たな技術や装置の登場が期待されます。 このように、ドライエッチング装置は現在の半導体産業において欠かせない装置であり、今後の技術革新によってさらに重要性が増していくことでしょう。高い効率性と精度を持つドライエッチング技術は、さまざまな応用分野においてもその可能性を広げ続けています。 |
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