カテゴリ： IT/電子, LP Information, 世界

誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの世界市場2023-2029：平面型ICPソース、円筒型ICPソース

■ 英語タイトル：Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Market Growth 2023-2029

調査会社LP Information社が発行したリサーチレポート（データ管理コード：LP23OT3152）■ 発行会社/調査会社：LP Information
■ 商品コード：LP23OT3152
■ 発行日：2023年10月（※2025年版があります。お問い合わせください。）
■ 調査対象地域：グローバル、日本、アメリカ、ヨーロッパ、アジア、中国など
■ 産業分野：電子＆半導体
■ ページ数：106
■ レポート言語：英語
■ レポート形式：PDF
■ 納品方式：Eメール（受注後2-3営業日）
■ 販売価格オプション（消費税別）
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★グローバルリサーチ資料[誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの世界市場2023-2029：平面型ICPソース、円筒型ICPソース]についてメールでお問い合わせはこちら
*** レポート概要（サマリー）***

LPインフォメーション社の最新調査レポート「誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの世界市場」は、過去の販売実績から2022年の世界の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの総販売量を検討し、2023年から2029年の予測される誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの販売量を地域別・市場分野別に包括的に分析しています。本調査レポートでは、地域別、市場分野別、サブセクター別の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの市場規模を掲載し、XXX百万米ドル規模の世界の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー市場の詳細な分析を提供します。本インサイトレポートは、世界の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー業界を包括的に分析し、製品セグメント、企業情報、売上、市場シェア、最新動向、M&A活動に関する主要トレンドを明らかにしています。
また、本資料では、加速する世界の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー市場における各社の独自のポジションをより深く理解するために、誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー製品ポートフォリオ、能力、市場参入戦略、市場でのポジション、海外展開に焦点を当て、主要なグローバル企業の戦略を分析しています。

世界の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー市場規模は、2022年のXXX百万米ドルから2029年にはXXX百万米ドルに成長すると予測され、2023年から2029年までの年平均成長率は000%と予測されます。誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの米国市場は、2022年のXXX百万米ドルから2029年にはXXX百万米ドルに増加し、2023年から2029年までのCAGRは000％と予測されています。誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの中国市場は、2023年から2029年までの年平均000％成長率で、2022年のXXX百万米ドルから2029年にはXXX百万米ドルに増加すると推定されます。誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの欧州市場は、2023年から2029年にかけて年平均000％成長率で、2022年のXXX百万米ドルから2029年にはXXX百万米ドルに増加すると推定されています。

誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの世界主要メーカーとしては、Lam Research、 TEL、 Applied Materials、 Hitachi High-Tech、 Oxford Instruments、 SPTS Technologies、 Plasma-Therm、 GigaLane、 SAMCO、 Corial、 AMEC、 NAURAなどを掲載しており、売上の面では、世界の2大企業が2022年にほぼ000％のシェアを占めています。

本調査資料では、製品タイプ、用途、主要メーカー、主要地域、国別の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー市場の包括的な概要、市場シェア、成長機会などの情報を提供しています。

【市場細分化】

本調査では誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー市場をセグメンテーションし、種類別 (平面型ICPソース、円筒型ICPソース)、用途別 (半導体、誘電体、金属、ポリマー)、および地域別 (アジア太平洋、南北アメリカ、欧州、および中東・アフリカ) の市場規模を予測しています。

・種類別区分：平面型ICPソース、円筒型ICPソース

・用途別区分：半導体、誘電体、金属、ポリマー

・地域別区分
南北アメリカ（アメリカ、カナダ、メキシコ、ブラジル）
アジア太平洋（中国、日本、韓国、東南アジア、インド、オーストラリア）
欧州（ドイツ、フランス、イギリス、イタリア、ロシア）
中東・アフリカ（エジプト、南アフリカ、イスラエル、トルコ、GCC諸国）

【本レポートで扱う主な質問】

・世界の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー市場の10年間の市場状況・展望は？
・世界および地域別に見た誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー市場成長の要因は何か？
・誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの市場機会はエンドマーケットの規模によってどのように変化するのか？
・誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーのタイプ別、用途別の内訳は？
・新型コロナウイルス感染症とロシア・ウクライナ戦争の影響は？

********* 目次 *********

レポートの範囲
・市場の紹介
・分析対象期間
・調査の目的
・調査手法
・調査プロセスおよびデータソース
・経済指標
・通貨

エグゼクティブサマリー
・世界市場の概要：誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの年間販売量2018-2029、地域別現状・将来分析
・誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの種類別セグメント：平面型ICPソース、円筒型ICPソース
・誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの種類別販売量：2018-2023年の販売量、売上、市場シェア、販売価格
・誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの用途別セグメント：半導体、誘電体、金属、ポリマー
・誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの用途別販売量：2018-2023年の販売量、売上、市場シェア、販売価格

企業別世界の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー市場
・企業別のグローバル誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー市場データ：2018-2023年の年間販売量、市場シェア
・企業別の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの年間売上：2018-2023年の売上、市場シェア
・企業別の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー販売価格
・主要企業の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー生産地域、販売地域、製品タイプ
・市場集中度分析
・新製品および潜在的な参加者
・合併と買収、拡大

誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの地域別レビュー
・地域別の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー市場規模2018-2023：年間販売量、売上
・主要国別の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー市場規模2018-2023：年間販売量、売上
・南北アメリカの誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー販売の成長
・アジア太平洋の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー販売の成長
・欧州の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー販売の成長
・中東・アフリカの誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー販売の成長

南北アメリカ市場
・南北アメリカの国別の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー販売量、売上（2018-2023）
・南北アメリカの誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの種類別販売量
・南北アメリカの誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの用途別販売量
・アメリカ市場
・カナダ市場
・メキシコ市場
・ブラジル市場

アジア太平洋市場
・アジア太平洋の国別の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー販売量、売上（2018-2023）
・アジア太平洋の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの種類別販売量
・アジア太平洋の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの用途別販売量
・中国市場
・日本市場
・韓国市場
・東南アジア市場
・インド市場
・オーストラリア市場
・台湾市場

欧州市場
・欧州の国別の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー販売量、売上（2018-2023）
・欧州の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの種類別販売量
・欧州の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの用途別販売量
・ドイツ市場
・フランス市場
・イギリス市場
・イタリア市場
・ロシア市場

中東・アフリカ市場
・中東・アフリカの国別の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー販売量、売上（2018-2023）
・中東・アフリカの誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの種類別販売量
・中東・アフリカの誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの用途別販売量
・エジプト市場
・南アフリカ市場
・イスラエル市場
・トルコ市場
・GCC諸国市場

市場の成長要因、課題、動向
・市場の成長要因および成長機会分析
・市場の課題およびリスク
・市場動向

製造コスト構造分析
・原材料とサプライヤー
・誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの製造コスト構造分析
・誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの製造プロセス分析
・誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの産業チェーン構造

マーケティング、販売業者および顧客
・販売チャンネル：直接販売チャンネル、間接販売チャンネル
・誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの主要なグローバル販売業者
・誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの主要なグローバル顧客

地域別の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー市場予測レビュー
・地域別の誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー市場規模予測（2024-2029）
・南北アメリカの国別予測
・アジア太平洋の国別予測
・欧州の国別予測
・誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの種類別市場規模予測
・誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの用途別市場規模予測

主要企業分析
Lam Research、 TEL、 Applied Materials、 Hitachi High-Tech、 Oxford Instruments、 SPTS Technologies、 Plasma-Therm、 GigaLane、 SAMCO、 Corial、 AMEC、 NAURA
・企業情報
・誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー製品
・誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー販売量、売上、価格、粗利益（2018-2023）
・主要ビジネス概要
・最新動向

調査結果および結論

The global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers market size is projected to grow from US$ 11990 million in 2022 to US$ 26880 million in 2029; it is expected to grow at a CAGR of 12.2% from 2023 to 2029.
United States market for Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers is estimated to increase from US$ million in 2022 to US$ million by 2029, at a CAGR of % from 2023 through 2029.
China market for Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers is estimated to increase from US$ million in 2022 to US$ million by 2029, at a CAGR of % from 2023 through 2029.
Europe market for Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers is estimated to increase from US$ million in 2022 to US$ million by 2029, at a CAGR of % from 2023 through 2029.
Global key Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers players cover Lam Research, TEL, Applied Materials, Hitachi High-Tech, Oxford Instruments, SPTS Technologies, Plasma-Therm, GigaLane and SAMCO, etc. In terms of revenue, the global two largest companies occupied for a share nearly % in 2022.
Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers produce higher plasma density and are hence called HDP, High Density Plasma, systems.
ICP Etcher conducts chemical & physical etching by generating high-density plasma in low-pressure process. It shows excellent etching performance at target materials which have high-hardness(Sapphire, SiC, etc.), organic matter(Polyimide, etc.), Ⅲ-Ⅴ compounds and glass.
LPI (LP Information)’ newest research report, the “Inductively Coupled P……

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*** レポート目次（コンテンツ）***

1 Scope of the Report
1.1 Market Introduction
1.2 Years Considered
1.3 Research Objectives
1.4 Market Research Methodology
1.5 Research Process and Data Source
1.6 Economic Indicators
1.7 Currency Considered
1.8 Market Estimation Caveats
2 Executive Summary
2.1 World Market Overview
2.1.1 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Annual Sales 2018-2029
2.1.2 World Current & Future Analysis for Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers by Geographic Region, 2018, 2022 & 2029
2.1.3 World Current & Future Analysis for Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers by Country/Region, 2018, 2022 & 2029
2.2 Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Segment by Type
2.2.1 Planar ICP Source
2.2.2 Cylindrical ICP Source
2.3 Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales by Type
2.3.1 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales Market Share by Type (2018-2023)
2.3.2 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Revenue and Market Share by Type (2018-2023)
2.3.3 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sale Price by Type (2018-2023)
2.4 Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Segment by Application
2.4.1 Semiconductors
2.4.2 Dielectrics
2.4.3 Metals
2.4.4 Polymers
2.5 Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales by Application
2.5.1 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sale Market Share by Application (2018-2023)
2.5.2 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Revenue and Market Share by Application (2018-2023)
2.5.3 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sale Price by Application (2018-2023)
3 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers by Company
3.1 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Breakdown Data by Company
3.1.1 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Annual Sales by Company (2018-2023)
3.1.2 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales Market Share by Company (2018-2023)
3.2 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Annual Revenue by Company (2018-2023)
3.2.1 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Revenue by Company (2018-2023)
3.2.2 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Revenue Market Share by Company (2018-2023)
3.3 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sale Price by Company
3.4 Key Manufacturers Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Producing Area Distribution, Sales Area, Product Type
3.4.1 Key Manufacturers Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Product Location Distribution
3.4.2 Players Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Products Offered
3.5 Market Concentration Rate Analysis
3.5.1 Competition Landscape Analysis
3.5.2 Concentration Ratio (CR3, CR5 and CR10) & (2018-2023)
3.6 New Products and Potential Entrants
3.7 Mergers & Acquisitions, Expansion
4 World Historic Review for Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers by Geographic Region
4.1 World Historic Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Market Size by Geographic Region (2018-2023)
4.1.1 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Annual Sales by Geographic Region (2018-2023)
4.1.2 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Annual Revenue by Geographic Region (2018-2023)
4.2 World Historic Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Market Size by Country/Region (2018-2023)
4.2.1 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Annual Sales by Country/Region (2018-2023)
4.2.2 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Annual Revenue by Country/Region (2018-2023)
4.3 Americas Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales Growth
4.4 APAC Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales Growth
4.5 Europe Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales Growth
4.6 Middle East & Africa Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales Growth
5 Americas
5.1 Americas Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales by Country
5.1.1 Americas Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales by Country (2018-2023)
5.1.2 Americas Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Revenue by Country (2018-2023)
5.2 Americas Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales by Type
5.3 Americas Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales by Application
5.4 United States
5.5 Canada
5.6 Mexico
5.7 Brazil
6 APAC
6.1 APAC Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales by Region
6.1.1 APAC Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales by Region (2018-2023)
6.1.2 APAC Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Revenue by Region (2018-2023)
6.2 APAC Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales by Type
6.3 APAC Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales by Application
6.4 China
6.5 Japan
6.6 South Korea
6.7 Southeast Asia
6.8 India
6.9 Australia
6.10 China Taiwan
7 Europe
7.1 Europe Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers by Country
7.1.1 Europe Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales by Country (2018-2023)
7.1.2 Europe Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Revenue by Country (2018-2023)
7.2 Europe Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales by Type
7.3 Europe Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales by Application
7.4 Germany
7.5 France
7.6 UK
7.7 Italy
7.8 Russia
8 Middle East & Africa
8.1 Middle East & Africa Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers by Country
8.1.1 Middle East & Africa Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales by Country (2018-2023)
8.1.2 Middle East & Africa Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Revenue by Country (2018-2023)
8.2 Middle East & Africa Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales by Type
8.3 Middle East & Africa Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales by Application
8.4 Egypt
8.5 South Africa
8.6 Israel
8.7 Turkey
8.8 GCC Countries
9 Market Drivers, Challenges and Trends
9.1 Market Drivers & Growth Opportunities
9.2 Market Challenges & Risks
9.3 Industry Trends
10 Manufacturing Cost Structure Analysis
10.1 Raw Material and Suppliers
10.2 Manufacturing Cost Structure Analysis of Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers
10.3 Manufacturing Process Analysis of Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers
10.4 Industry Chain Structure of Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers
11 Marketing, Distributors and Customer
11.1 Sales Channel
11.1.1 Direct Channels
11.1.2 Indirect Channels
11.2 Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Distributors
11.3 Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Customer
12 World Forecast Review for Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers by Geographic Region
12.1 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Market Size Forecast by Region
12.1.1 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Forecast by Region (2024-2029)
12.1.2 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Annual Revenue Forecast by Region (2024-2029)
12.2 Americas Forecast by Country
12.3 APAC Forecast by Region
12.4 Europe Forecast by Country
12.5 Middle East & Africa Forecast by Country
12.6 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Forecast by Type
12.7 Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Forecast by Application
13 Key Players Analysis
13.1 Lam Research
13.1.1 Lam Research Company Information
13.1.2 Lam Research Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Product Portfolios and Specifications
13.1.3 Lam Research Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.1.4 Lam Research Main Business Overview
13.1.5 Lam Research Latest Developments
13.2 TEL
13.2.1 TEL Company Information
13.2.2 TEL Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Product Portfolios and Specifications
13.2.3 TEL Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.2.4 TEL Main Business Overview
13.2.5 TEL Latest Developments
13.3 Applied Materials
13.3.1 Applied Materials Company Information
13.3.2 Applied Materials Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Product Portfolios and Specifications
13.3.3 Applied Materials Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.3.4 Applied Materials Main Business Overview
13.3.5 Applied Materials Latest Developments
13.4 Hitachi High-Tech
13.4.1 Hitachi High-Tech Company Information
13.4.2 Hitachi High-Tech Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Product Portfolios and Specifications
13.4.3 Hitachi High-Tech Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.4.4 Hitachi High-Tech Main Business Overview
13.4.5 Hitachi High-Tech Latest Developments
13.5 Oxford Instruments
13.5.1 Oxford Instruments Company Information
13.5.2 Oxford Instruments Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Product Portfolios and Specifications
13.5.3 Oxford Instruments Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.5.4 Oxford Instruments Main Business Overview
13.5.5 Oxford Instruments Latest Developments
13.6 SPTS Technologies
13.6.1 SPTS Technologies Company Information
13.6.2 SPTS Technologies Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Product Portfolios and Specifications
13.6.3 SPTS Technologies Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.6.4 SPTS Technologies Main Business Overview
13.6.5 SPTS Technologies Latest Developments
13.7 Plasma-Therm
13.7.1 Plasma-Therm Company Information
13.7.2 Plasma-Therm Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Product Portfolios and Specifications
13.7.3 Plasma-Therm Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.7.4 Plasma-Therm Main Business Overview
13.7.5 Plasma-Therm Latest Developments
13.8 GigaLane
13.8.1 GigaLane Company Information
13.8.2 GigaLane Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Product Portfolios and Specifications
13.8.3 GigaLane Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.8.4 GigaLane Main Business Overview
13.8.5 GigaLane Latest Developments
13.9 SAMCO
13.9.1 SAMCO Company Information
13.9.2 SAMCO Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Product Portfolios and Specifications
13.9.3 SAMCO Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.9.4 SAMCO Main Business Overview
13.9.5 SAMCO Latest Developments
13.10 Corial
13.10.1 Corial Company Information
13.10.2 Corial Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Product Portfolios and Specifications
13.10.3 Corial Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.10.4 Corial Main Business Overview
13.10.5 Corial Latest Developments
13.11 AMEC
13.11.1 AMEC Company Information
13.11.2 AMEC Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Product Portfolios and Specifications
13.11.3 AMEC Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.11.4 AMEC Main Business Overview
13.11.5 AMEC Latest Developments
13.12 NAURA
13.12.1 NAURA Company Information
13.12.2 NAURA Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Product Portfolios and Specifications
13.12.3 NAURA Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.12.4 NAURA Main Business Overview
13.12.5 NAURA Latest Developments
14 Research Findings and Conclusion


※参考情報

誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーは、半導体製造や材料科学の分野で広く使用される先進的なエッチング技術です。この技術は主に、半導体デバイスの微細加工や表面処理に利用され、非常に制御されたエッチングプロセスを実現します。以下に、ICPエッチャーの概念、特徴、種類、用途、関連技術について詳述します。

ICPエッチャーは、誘導結合プラズマを利用して材料を選択的にエッチングする装置です。プラズマとは、気体中の原子が高エネルギー状態になったイオン化された状態を指し、通常の気体状態と異なり電気的に中性で、高い反応性を持っています。ICPエッチャーでは、高周波数の電磁波をコイルで発生させ、その電磁波がガスを励起し、プラズマを生成します。このプラズマが基板表面の材料を反応させ、選択的にエッチングを行います。

ICPエッチャーの特徴の一つは、その高度なエッチング精度です。誘導結合プラズマは、エッチング時のイオン密度とエネルギーを高く維持することが可能であり、これにより微細なパターンの形成が可能になります。同時に、基板の温度管理も重要であり、通常は冷却システムを使用して基板温度が過度に上昇しないように管理されます。

ICPエッチャーは、主に二つの異なる種類に分類されます。一つは、Open ICP（オープンICP）であり、これはエッチングガスが基板に直接供給され、プラズマの生成が行われる方式です。この方式は、比較的大きな部品を処理するのに適しています。もう一つは、Closed ICP（クローズドICP）で、こちらは真空チャンバー内でガスが循環する方式です。この場合、エッチングプロセスの安定性が高まり、均一なエッチングが期待できます。

ICPエッチャーの用途は多岐にわたりますが、特に半導体製造プロセスにおいて重要な役割を果たします。例えば、シリコンウェハ上に形成された絶縁膜や金属膜の加工や、微細なパターンを形成するためのエッチングが挙げられます。このプロセスは、半導体デバイスの製造において、トランジスタや配線パターンの形成に不可欠です。さらに、光学素子やMEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）デバイスの製造においても、ICPエッチャーは重要な役割を果たします。

関連技術としては、化学的エッチング（Wet Etching）やプラズマエッチング（RIE: Reactive Ion Etching）と比較されることが多いです。化学的エッチングでは、液体のエッチング剤を使用して材料を除去しますが、選択性や精度の面で制約があることが多いです。一方、プラズマエッチングは、イオン源としてのプラズマを利用しますが、ICPエッチャーはその中でも高いエネルギー効率と制御性を持つため、特に細かいパターン形成に適しています。

ICPエッチャーのトレンドとして、ますます微細化が進む半導体デバイスに対応するため、高精度・高選択性のエッチング技術が求められています。また、環境配慮から、より低い温度や圧力での動作が可能な新しいプラズマ技術の開発が進められています。これにより、将来的な半導体製造の効率化が期待されています。

最後に、ICPエッチャーは単体で使用されるだけでなく、他の製造プロセスや設備と連携して使用されることが一般的です。たとえば、リソグラフィー技術や蒸着技術と組み合わせることで、より複雑な多層構造の形成が可能となります。したがって、ICPエッチャーは、現代のナノテクノロジーや半導体製造において、ますます重要な役割を果たす技術であると言えます。


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※関連調査資料
  • 誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーのグローバル市場2023：平面型ICPソース、円筒型ICPソース
  • リモートプラズマソースのグローバル市場（～2030年）：リモートプラズマクリーナー、リモートプラズマプロセッサー、容量結合プラズマ（CCP）、誘導結合プラズマ（ICP）、リモートマイクロウェーブプラズマ、その他
  • 誘導結合プラズマ分光分析装置の世界市場2023-2029：ICP-MS、ICP-OES
  • 誘導結合プラズマトリプル四重極質量分析計の世界市場2023-2029：微量分析、超微量分析
  • エッチング装置の世界予測（～2030）：バレルエッチング装置、平面エッチング装置、誘導結合プラズマ（ICP）エッチング装置
    • ※注目の調査資料
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    ※当市場調査資料(LP23OT3152 )"誘導結合プラズマ（ICP）エッチャーの世界市場2023-2029：平面型ICPソース、円筒型ICPソース" (英文：Global Inductively Coupled Plasma (ICP) Etchers Market Growth 2023-2029)はLP Information社が調査・発行しており、H&Iグローバルリサーチが販売します。

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