プラズマCVD装置の世界市場2025-2031:平行平板型PECVD装置、チューブ型PECVD装置

■ 英語タイトル:Global Plasma Enhanced CVD Equipment Market Growth 2025-2031

調査会社LP Information社が発行したリサーチレポート(データ管理コード:LP23MY3562)■ 発行会社/調査会社:LP Information
■ 商品コード:LP23MY3562
■ 発行日:2025年3月
■ 調査対象地域:グローバル、日本、アメリカ、ヨーロッパ、アジア、中国など
■ 産業分野:機械&装置
■ ページ数:127
■ レポート言語:英語
■ レポート形式:PDF
■ 納品方式:Eメール(受注後2-3営業日)
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*** レポート概要(サマリー)***

LPインフォメーション社の最新調査レポート「プラズマCVD装置の世界市場」は、過去の販売実績から2024年の世界のプラズマCVD装置の総販売量を検討し、2025年から2031年の予測されるプラズマCVD装置の販売量を地域別・市場分野別に包括的に分析しています。本調査レポートでは、地域別、市場分野別、サブセクター別のプラズマCVD装置の市場規模を掲載し、XXX百万米ドル規模の世界のプラズマCVD装置市場の詳細な分析を提供します。本インサイトレポートは、世界のプラズマCVD装置業界を包括的に分析し、製品セグメント、企業情報、売上、市場シェア、最新動向、M&A活動に関する主要トレンドを明らかにしています。
また、本資料では、加速する世界のプラズマCVD装置市場における各社の独自のポジションをより深く理解するために、プラズマCVD装置製品ポートフォリオ、能力、市場参入戦略、市場でのポジション、海外展開に焦点を当て、主要なグローバル企業の戦略を分析しています。

世界のプラズマCVD装置市場規模は、2024年のXXX百万米ドルから2031年にはXXX百万米ドルに成長すると予測され、2025年から2031年までの年平均成長率は000%と予測されます。プラズマCVD装置の米国市場は、2024年のXXX百万米ドルから2031年にはXXX百万米ドルに増加し、2025年から2031年までのCAGRは000%と予測されています。プラズマCVD装置の中国市場は、2025年から2031年までの年平均000%成長率で、2024年のXXX百万米ドルから2031年にはXXX百万米ドルに増加すると推定されます。プラズマCVD装置の欧州市場は、2025年から2031年にかけて年平均000%成長率で、2024年のXXX百万米ドルから2031年にはXXX百万米ドルに増加すると推定されています。

プラズマCVD装置の世界主要メーカーとしては、Applied Materials、 ASM International、 Lam Research、 Wonik IPS、 Meyer Burger、 Centrotherm、 Tempress、 Plasma-Therm、 S.C New Energy Technology、 Jusung Engineering、 KLA-Tencor(Orbotech)、 ULVAC, Inc、 Beijing NAURA、 Shenyang Piotech、 Oxford Instruments、 SAMCO、 CVD Equipment Corporation、 Trion Technology、 SENTECH Instruments、 NANO-MASTERなどを掲載しており、売上の面では、世界の2大企業が2024年にほぼ000%のシェアを占めています。

本調査資料では、製品タイプ、用途、主要メーカー、主要地域、国別のプラズマCVD装置市場の包括的な概要、市場シェア、成長機会などの情報を提供しています。

【市場細分化】

本調査ではプラズマCVD装置市場をセグメンテーションし、種類別 (平行平板型PECVD装置、チューブ型PECVD装置)、用途別 (半導体、太陽光発電、その他)、および地域別 (アジア太平洋、南北アメリカ、欧州、および中東・アフリカ) の市場規模を予測しています。

・種類別区分:平行平板型PECVD装置、チューブ型PECVD装置

・用途別区分:半導体、太陽光発電、その他

・地域別区分
南北アメリカ(アメリカ、カナダ、メキシコ、ブラジル)
アジア太平洋(中国、日本、韓国、東南アジア、インド、オーストラリア)
欧州(ドイツ、フランス、イギリス、イタリア、ロシア)
中東・アフリカ(エジプト、南アフリカ、イスラエル、トルコ、GCC諸国)

【本レポートで扱う主な質問】

・世界のプラズマCVD装置市場の10年間の市場状況・展望は?
・世界および地域別に見たプラズマCVD装置市場成長の要因は何か?
・プラズマCVD装置の市場機会はエンドマーケットの規模によってどのように変化するのか?
・プラズマCVD装置のタイプ別、用途別の内訳は?
・貿易戦争とロシア・ウクライナ戦争の影響は?

********* 目次 *********

レポートの範囲
・市場の紹介
・分析対象期間
・調査の目的
・調査手法
・調査プロセスおよびデータソース
・経済指標
・通貨

エグゼクティブサマリー
・世界市場の概要:プラズマCVD装置の年間販売量2020-2031、地域別現状・将来分析
・プラズマCVD装置の種類別セグメント:平行平板型PECVD装置、チューブ型PECVD装置
・プラズマCVD装置の種類別販売量:2020-2025年の販売量、売上、市場シェア、販売価格
・プラズマCVD装置の用途別セグメント:半導体、太陽光発電、その他
・プラズマCVD装置の用途別販売量:2020-2025年の販売量、売上、市場シェア、販売価格

企業別世界のプラズマCVD装置市場
・企業別のグローバルプラズマCVD装置市場データ:2020-2025年の年間販売量、市場シェア
・企業別のプラズマCVD装置の年間売上:2020-2025年の売上、市場シェア
・企業別のプラズマCVD装置販売価格
・主要企業のプラズマCVD装置生産地域、販売地域、製品タイプ
・市場集中度分析
・新製品および潜在的な参加者
・合併と買収、拡大

プラズマCVD装置の地域別レビュー
・地域別のプラズマCVD装置市場規模2020-2025:年間販売量、売上
・主要国別のプラズマCVD装置市場規模2020-2025:年間販売量、売上
・南北アメリカのプラズマCVD装置販売の成長
・アジア太平洋のプラズマCVD装置販売の成長
・欧州のプラズマCVD装置販売の成長
・中東・アフリカのプラズマCVD装置販売の成長

南北アメリカ市場
・南北アメリカの国別のプラズマCVD装置販売量、売上(2020-2025)
・南北アメリカのプラズマCVD装置の種類別販売量
・南北アメリカのプラズマCVD装置の用途別販売量
・アメリカ市場
・カナダ市場
・メキシコ市場
・ブラジル市場

アジア太平洋市場
・アジア太平洋の国別のプラズマCVD装置販売量、売上(2020-2025)
・アジア太平洋のプラズマCVD装置の種類別販売量
・アジア太平洋のプラズマCVD装置の用途別販売量
・中国市場
・日本市場
・韓国市場
・東南アジア市場
・インド市場
・オーストラリア市場
・台湾市場

欧州市場
・欧州の国別のプラズマCVD装置販売量、売上(2020-2025)
・欧州のプラズマCVD装置の種類別販売量
・欧州のプラズマCVD装置の用途別販売量
・ドイツ市場
・フランス市場
・イギリス市場
・イタリア市場
・ロシア市場

中東・アフリカ市場
・中東・アフリカの国別のプラズマCVD装置販売量、売上(2020-2025)
・中東・アフリカのプラズマCVD装置の種類別販売量
・中東・アフリカのプラズマCVD装置の用途別販売量
・エジプト市場
・南アフリカ市場
・イスラエル市場
・トルコ市場
・GCC諸国市場

市場の成長要因、課題、動向
・市場の成長要因および成長機会分析
・市場の課題およびリスク
・市場動向

製造コスト構造分析
・原材料とサプライヤー
・プラズマCVD装置の製造コスト構造分析
・プラズマCVD装置の製造プロセス分析
・プラズマCVD装置の産業チェーン構造

マーケティング、販売業者および顧客
・販売チャンネル:直接販売チャンネル、間接販売チャンネル
・プラズマCVD装置の主要なグローバル販売業者
・プラズマCVD装置の主要なグローバル顧客

地域別のプラズマCVD装置市場予測レビュー
・地域別のプラズマCVD装置市場規模予測(2026-2031)
・南北アメリカの国別予測
・アジア太平洋の国別予測
・欧州の国別予測
・プラズマCVD装置の種類別市場規模予測
・プラズマCVD装置の用途別市場規模予測

主要企業分析
Applied Materials、 ASM International、 Lam Research、 Wonik IPS、 Meyer Burger、 Centrotherm、 Tempress、 Plasma-Therm、 S.C New Energy Technology、 Jusung Engineering、 KLA-Tencor(Orbotech)、 ULVAC, Inc、 Beijing NAURA、 Shenyang Piotech、 Oxford Instruments、 SAMCO、 CVD Equipment Corporation、 Trion Technology、 SENTECH Instruments、 NANO-MASTER
・企業情報
・プラズマCVD装置製品
・プラズマCVD装置販売量、売上、価格、粗利益(2020-2025)
・主要ビジネス概要
・最新動向

調査結果および結論

PECVD is a deposition technology to deposit thin films using plasma technology. Compared to other deposition technologies such as PVD and Thermal CVD which are widely used for semiconductor device fabrication, PECVD can deposit thin films with high uniformity over the wafers at relatively low temperature (less than 350°C). Furthermore, this plasma deposition technology offers excellent material property control (refractive index, hardness and more) of thin films such as SiO2, SiNx, a-Si, SiON and DLC.
LPI (LP Information)’ newest research report, the “Plasma Enhanced CVD Equipment Industry Forecast” looks at past sales and reviews total world Plasma Enhanced CVD Equipment sales in 2024, providing a comprehensive analysis by region and market sector of projected Plasma Enhanced CVD Equipment sales for 2025 through 2031. With Plasma Enhanced CVD Equipment sales broken down by region, market sector and sub-sector, this report provides a detailed analysis in US$ millions of the world Plasma Enhanced CVD Equipment industry.
This Insight Report provides a comprehensive analysis of the global Plasma Enhanced CVD Equipment landscape and highlights key trends related to product segmentation, company formation, revenue, and market share, latest development, and M&A activity. This report also analyzes the strategies of leading global companies with a focus on Plasma Enhanced CVD Equipment portfolios and capabilities, market entry strategies, market positions, and geographic footprints, to better understand these firms’ unique position in an accelerating global Plasma Enhanced CVD Equipment market.
This Insight Report evaluates the key market trends, drivers, and affecting factors shaping the global outlook for Plasma Enhanced CVD Equipment and breaks down the forecast by type, by application, geography, and market size to highlight emerging pockets of opportunity. With a transparent methodology based on hundreds of bottom-up qualitative and quantitative market inputs, this study forecast offers a highly nuanced view of the current state and future trajectory in the global Plasma Enhanced CVD Equipment.
The global Plasma Enhanced CVD Equipment market size is projected to grow from US$ million in 2024 to US$ million in 2029; it is expected to grow at a CAGR of % from 2025 to 2031.
United States market for Plasma Enhanced CVD Equipment is estimated to increase from US$ million in 2024 to US$ million by 2029, at a CAGR of % from 2025 through 2031.
China market for Plasma Enhanced CVD Equipment is estimated to increase from US$ million in 2024 to US$ million by 2029, at a CAGR of % from 2025 through 2031.
Europe market for Plasma Enhanced CVD Equipment is estimated to increase from US$ million in 2024 to US$ million by 2029, at a CAGR of % from 2025 through 2031.
Global key Plasma Enhanced CVD Equipment players cover Applied Materials, ASM International, Lam Research, Wonik IPS, Meyer Burger, Centrotherm, Tempress, Plasma-Therm and S.C New Energy Technology, etc. In terms of revenue, the global two largest companies occupied for a share nearly % in 2024.
This report presents a comprehensive overview, market shares, and growth opportunities of Plasma Enhanced CVD Equipment market by product type, application, key manufacturers and key regions and countries.
Market Segmentation:
Segmentation by type
Parallel Plate Type PECVD Equipment
Tube Type PECVD Equipment
Segmentation by application
Semiconductor Industry
Solar Industry
Other
This report also splits the market by region:
Americas
United States
Canada
Mexico
Brazil
APAC
China
Japan
Korea
Southeast Asia
India
Australia
Europe
Germany
France
UK
Italy
Russia
Middle East & Africa
Egypt
South Africa
Israel
Turkey
GCC Countries
The below companies that are profiled have been selected based on inputs gathered from primary experts and analyzing the company’s coverage, product portfolio, its market penetration.
Applied Materials
ASM International
Lam Research
Wonik IPS
Meyer Burger
Centrotherm
Tempress
Plasma-Therm
S.C New Energy Technology
Jusung Engineering
KLA-Tencor(Orbotech)
ULVAC, Inc
Beijing NAURA
Shenyang Piotech
Oxford Instruments
SAMCO
CVD Equipment Corporation
Trion Technology
SENTECH Instruments
NANO-MASTER
Key Questions Addressed in this Report
What is the 10-year outlook for the global Plasma Enhanced CVD Equipment market?
What factors are driving Plasma Enhanced CVD Equipment market growth, globally and by region?
Which technologies are poised for the fastest growth by market and region?
How do Plasma Enhanced CVD Equipment market opportunities vary by end market size?
How does Plasma Enhanced CVD Equipment break out type, application?
What are the influences of trade war and Russia-Ukraine war?

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*** レポート目次(コンテンツ)***

1 Scope of the Report
1.1 Market Introduction
1.2 Years Considered
1.3 Research Objectives
1.4 Market Research Methodology
1.5 Research Process and Data Source
1.6 Economic Indicators
1.7 Currency Considered
1.8 Market Estimation Caveats
2 Executive Summary
2.1 World Market Overview
2.1.1 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Annual Sales 2020-2031
2.1.2 World Current & Future Analysis for Plasma Enhanced CVD Equipment by Geographic Region, 2020, 2024 & 2031
2.1.3 World Current & Future Analysis for Plasma Enhanced CVD Equipment by Country/Region, 2020, 2024 & 2031
2.2 Plasma Enhanced CVD Equipment Segment by Type
2.2.1 Parallel Plate Type PECVD Equipment
2.2.2 Tube Type PECVD Equipment
2.3 Plasma Enhanced CVD Equipment Sales by Type
2.3.1 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Sales Market Share by Type (2020-2025)
2.3.2 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Revenue and Market Share by Type (2020-2025)
2.3.3 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Sale Price by Type (2020-2025)
2.4 Plasma Enhanced CVD Equipment Segment by Application
2.4.1 Semiconductor Industry
2.4.2 Solar Industry
2.4.3 Other
2.5 Plasma Enhanced CVD Equipment Sales by Application
2.5.1 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Sale Market Share by Application (2020-2025)
2.5.2 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Revenue and Market Share by Application (2020-2025)
2.5.3 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Sale Price by Application (2020-2025)
3 Global Plasma Enhanced CVD Equipment by Company
3.1 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Breakdown Data by Company
3.1.1 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Annual Sales by Company (2020-2025)
3.1.2 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Sales Market Share by Company (2020-2025)
3.2 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Annual Revenue by Company (2020-2025)
3.2.1 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Revenue by Company (2020-2025)
3.2.2 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Revenue Market Share by Company (2020-2025)
3.3 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Sale Price by Company
3.4 Key Manufacturers Plasma Enhanced CVD Equipment Producing Area Distribution, Sales Area, Product Type
3.4.1 Key Manufacturers Plasma Enhanced CVD Equipment Product Location Distribution
3.4.2 Players Plasma Enhanced CVD Equipment Products Offered
3.5 Market Concentration Rate Analysis
3.5.1 Competition Landscape Analysis
3.5.2 Concentration Ratio (CR3, CR5 and CR10) & (2020-2025)
3.6 New Products and Potential Entrants
3.7 Mergers & Acquisitions, Expansion
4 World Historic Review for Plasma Enhanced CVD Equipment by Geographic Region
4.1 World Historic Plasma Enhanced CVD Equipment Market Size by Geographic Region (2020-2025)
4.1.1 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Annual Sales by Geographic Region (2020-2025)
4.1.2 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Annual Revenue by Geographic Region (2020-2025)
4.2 World Historic Plasma Enhanced CVD Equipment Market Size by Country/Region (2020-2025)
4.2.1 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Annual Sales by Country/Region (2020-2025)
4.2.2 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Annual Revenue by Country/Region (2020-2025)
4.3 Americas Plasma Enhanced CVD Equipment Sales Growth
4.4 APAC Plasma Enhanced CVD Equipment Sales Growth
4.5 Europe Plasma Enhanced CVD Equipment Sales Growth
4.6 Middle East & Africa Plasma Enhanced CVD Equipment Sales Growth
5 Americas
5.1 Americas Plasma Enhanced CVD Equipment Sales by Country
5.1.1 Americas Plasma Enhanced CVD Equipment Sales by Country (2020-2025)
5.1.2 Americas Plasma Enhanced CVD Equipment Revenue by Country (2020-2025)
5.2 Americas Plasma Enhanced CVD Equipment Sales by Type
5.3 Americas Plasma Enhanced CVD Equipment Sales by Application
5.4 United States
5.5 Canada
5.6 Mexico
5.7 Brazil
6 APAC
6.1 APAC Plasma Enhanced CVD Equipment Sales by Region
6.1.1 APAC Plasma Enhanced CVD Equipment Sales by Region (2020-2025)
6.1.2 APAC Plasma Enhanced CVD Equipment Revenue by Region (2020-2025)
6.2 APAC Plasma Enhanced CVD Equipment Sales by Type
6.3 APAC Plasma Enhanced CVD Equipment Sales by Application
6.4 China
6.5 Japan
6.6 South Korea
6.7 Southeast Asia
6.8 India
6.9 Australia
6.10 China Taiwan
7 Europe
7.1 Europe Plasma Enhanced CVD Equipment by Country
7.1.1 Europe Plasma Enhanced CVD Equipment Sales by Country (2020-2025)
7.1.2 Europe Plasma Enhanced CVD Equipment Revenue by Country (2020-2025)
7.2 Europe Plasma Enhanced CVD Equipment Sales by Type
7.3 Europe Plasma Enhanced CVD Equipment Sales by Application
7.4 Germany
7.5 France
7.6 UK
7.7 Italy
7.8 Russia
8 Middle East & Africa
8.1 Middle East & Africa Plasma Enhanced CVD Equipment by Country
8.1.1 Middle East & Africa Plasma Enhanced CVD Equipment Sales by Country (2020-2025)
8.1.2 Middle East & Africa Plasma Enhanced CVD Equipment Revenue by Country (2020-2025)
8.2 Middle East & Africa Plasma Enhanced CVD Equipment Sales by Type
8.3 Middle East & Africa Plasma Enhanced CVD Equipment Sales by Application
8.4 Egypt
8.5 South Africa
8.6 Israel
8.7 Turkey
8.8 GCC Countries
9 Market Drivers, Challenges and Trends
9.1 Market Drivers & Growth Opportunities
9.2 Market Challenges & Risks
9.3 Industry Trends
10 Manufacturing Cost Structure Analysis
10.1 Raw Material and Suppliers
10.2 Manufacturing Cost Structure Analysis of Plasma Enhanced CVD Equipment
10.3 Manufacturing Process Analysis of Plasma Enhanced CVD Equipment
10.4 Industry Chain Structure of Plasma Enhanced CVD Equipment
11 Marketing, Distributors and Customer
11.1 Sales Channel
11.1.1 Direct Channels
11.1.2 Indirect Channels
11.2 Plasma Enhanced CVD Equipment Distributors
11.3 Plasma Enhanced CVD Equipment Customer
12 World Forecast Review for Plasma Enhanced CVD Equipment by Geographic Region
12.1 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Market Size Forecast by Region
12.1.1 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Forecast by Region (2026-2031)
12.1.2 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Annual Revenue Forecast by Region (2026-2031)
12.2 Americas Forecast by Country
12.3 APAC Forecast by Region
12.4 Europe Forecast by Country
12.5 Middle East & Africa Forecast by Country
12.6 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Forecast by Type
12.7 Global Plasma Enhanced CVD Equipment Forecast by Application
13 Key Players Analysis
13.1 Applied Materials
13.1.1 Applied Materials Company Information
13.1.2 Applied Materials Plasma Enhanced CVD Equipment Product Portfolios and Specifications
13.1.3 Applied Materials Plasma Enhanced CVD Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.1.4 Applied Materials Main Business Overview
13.1.5 Applied Materials Latest Developments
13.2 ASM International
13.2.1 ASM International Company Information
13.2.2 ASM International Plasma Enhanced CVD Equipment Product Portfolios and Specifications
13.2.3 ASM International Plasma Enhanced CVD Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.2.4 ASM International Main Business Overview
13.2.5 ASM International Latest Developments
13.3 Lam Research
13.3.1 Lam Research Company Information
13.3.2 Lam Research Plasma Enhanced CVD Equipment Product Portfolios and Specifications
13.3.3 Lam Research Plasma Enhanced CVD Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.3.4 Lam Research Main Business Overview
13.3.5 Lam Research Latest Developments
13.4 Wonik IPS
13.4.1 Wonik IPS Company Information
13.4.2 Wonik IPS Plasma Enhanced CVD Equipment Product Portfolios and Specifications
13.4.3 Wonik IPS Plasma Enhanced CVD Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.4.4 Wonik IPS Main Business Overview
13.4.5 Wonik IPS Latest Developments
13.5 Meyer Burger
13.5.1 Meyer Burger Company Information
13.5.2 Meyer Burger Plasma Enhanced CVD Equipment Product Portfolios and Specifications
13.5.3 Meyer Burger Plasma Enhanced CVD Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.5.4 Meyer Burger Main Business Overview
13.5.5 Meyer Burger Latest Developments
13.6 Centrotherm
13.6.1 Centrotherm Company Information
13.6.2 Centrotherm Plasma Enhanced CVD Equipment Product Portfolios and Specifications
13.6.3 Centrotherm Plasma Enhanced CVD Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.6.4 Centrotherm Main Business Overview
13.6.5 Centrotherm Latest Developments
13.7 Tempress
13.7.1 Tempress Company Information
13.7.2 Tempress Plasma Enhanced CVD Equipment Product Portfolios and Specifications
13.7.3 Tempress Plasma Enhanced CVD Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.7.4 Tempress Main Business Overview
13.7.5 Tempress Latest Developments
13.8 Plasma-Therm
13.8.1 Plasma-Therm Company Information
13.8.2 Plasma-Therm Plasma Enhanced CVD Equipment Product Portfolios and Specifications
13.8.3 Plasma-Therm Plasma Enhanced CVD Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.8.4 Plasma-Therm Main Business Overview
13.8.5 Plasma-Therm Latest Developments
13.9 S.C New Energy Technology
13.9.1 S.C New Energy Technology Company Information
13.9.2 S.C New Energy Technology Plasma Enhanced CVD Equipment Product Portfolios and Specifications
13.9.3 S.C New Energy Technology Plasma Enhanced CVD Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.9.4 S.C New Energy Technology Main Business Overview
13.9.5 S.C New Energy Technology Latest Developments
13.10 Jusung Engineering
13.10.1 Jusung Engineering Company Information
13.10.2 Jusung Engineering Plasma Enhanced CVD Equipment Product Portfolios and Specifications
13.10.3 Jusung Engineering Plasma Enhanced CVD Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.10.4 Jusung Engineering Main Business Overview
13.10.5 Jusung Engineering Latest Developments
13.11 KLA-Tencor(Orbotech)
13.11.1 KLA-Tencor(Orbotech) Company Information
13.11.2 KLA-Tencor(Orbotech) Plasma Enhanced CVD Equipment Product Portfolios and Specifications
13.11.3 KLA-Tencor(Orbotech) Plasma Enhanced CVD Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.11.4 KLA-Tencor(Orbotech) Main Business Overview
13.11.5 KLA-Tencor(Orbotech) Latest Developments
13.12 ULVAC, Inc
13.12.1 ULVAC, Inc Company Information
13.12.2 ULVAC, Inc Plasma Enhanced CVD Equipment Product Portfolios and Specifications
13.12.3 ULVAC, Inc Plasma Enhanced CVD Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.12.4 ULVAC, Inc Main Business Overview
13.12.5 ULVAC, Inc Latest Developments
13.13 Beijing NAURA
13.13.1 Beijing NAURA Company Information
13.13.2 Beijing NAURA Plasma Enhanced CVD Equipment Product Portfolios and Specifications
13.13.3 Beijing NAURA Plasma Enhanced CVD Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.13.4 Beijing NAURA Main Business Overview
13.13.5 Beijing NAURA Latest Developments
13.14 Shenyang Piotech
13.14.1 Shenyang Piotech Company Information
13.14.2 Shenyang Piotech Plasma Enhanced CVD Equipment Product Portfolios and Specifications
13.14.3 Shenyang Piotech Plasma Enhanced CVD Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.14.4 Shenyang Piotech Main Business Overview
13.14.5 Shenyang Piotech Latest Developments
13.15 Oxford Instruments
13.15.1 Oxford Instruments Company Information
13.15.2 Oxford Instruments Plasma Enhanced CVD Equipment Product Portfolios and Specifications
13.15.3 Oxford Instruments Plasma Enhanced CVD Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.15.4 Oxford Instruments Main Business Overview
13.15.5 Oxford Instruments Latest Developments
13.16 SAMCO
13.16.1 SAMCO Company Information
13.16.2 SAMCO Plasma Enhanced CVD Equipment Product Portfolios and Specifications
13.16.3 SAMCO Plasma Enhanced CVD Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.16.4 SAMCO Main Business Overview
13.16.5 SAMCO Latest Developments
13.17 CVD Equipment Corporation
13.17.1 CVD Equipment Corporation Company Information
13.17.2 CVD Equipment Corporation Plasma Enhanced CVD Equipment Product Portfolios and Specifications
13.17.3 CVD Equipment Corporation Plasma Enhanced CVD Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.17.4 CVD Equipment Corporation Main Business Overview
13.17.5 CVD Equipment Corporation Latest Developments
13.18 Trion Technology
13.18.1 Trion Technology Company Information
13.18.2 Trion Technology Plasma Enhanced CVD Equipment Product Portfolios and Specifications
13.18.3 Trion Technology Plasma Enhanced CVD Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.18.4 Trion Technology Main Business Overview
13.18.5 Trion Technology Latest Developments
13.19 SENTECH Instruments
13.19.1 SENTECH Instruments Company Information
13.19.2 SENTECH Instruments Plasma Enhanced CVD Equipment Product Portfolios and Specifications
13.19.3 SENTECH Instruments Plasma Enhanced CVD Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.19.4 SENTECH Instruments Main Business Overview
13.19.5 SENTECH Instruments Latest Developments
13.20 NANO-MASTER
13.20.1 NANO-MASTER Company Information
13.20.2 NANO-MASTER Plasma Enhanced CVD Equipment Product Portfolios and Specifications
13.20.3 NANO-MASTER Plasma Enhanced CVD Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.20.4 NANO-MASTER Main Business Overview
13.20.5 NANO-MASTER Latest Developments
14 Research Findings and Conclusion


※参考情報

プラズマCVD装置(Plasma Enhanced CVD Equipment)は、薄膜を作成するための先端的な技術であり、半導体材料、光学素子、太陽光発電の薄膜など、多岐にわたる用途で広く使用されています。この装置は、化学気相成長(CVD)プロセスをプラズマにより強化したもので、通常のCVDプロセスと比べてより効率的に、高品質な薄膜を生成することが可能です。

プラズマCVDの定義としては、気体の前駆体をプラズマ状態にして、そのエネルギーを利用して化学反応を促進し、基板上に薄膜を成長させる技術といえます。プラズマを用いることで、通常のCVDでは得られない低温での成膜が可能になり、基板へのダメージを最小限に抑えることができます。この技術は、特に温度に敏感な材料や、複雑な形状の基板においてその利点が顕著に現れます。

この装置の特徴としては、まず、成膜プロセスにおける自己調整能力が挙げられます。プラズマ中の自由電子やイオンは、基板に直接衝突し、高エネルギーの過程を引き起こします。これにより、気相からの物質が基板に効率的に吸着し、成膜速度を向上させることができます。また、プラズマCVDは多様な気体を前駆体として使用することができ、材料の選択肢が広がります。たとえば、シリコン、酸化物、窒化物、フッ化物などが一般的に使用されています。

プラズマCVD装置には大きく分けて、低圧プラズマCVD(LPCVD)と高圧プラズマCVD(HPCVD)があります。LPCVDは、低圧の環境で行われるプロセスであり、高品質な薄膜を均一に成膜するのに適しています。一方、HPCVDは高圧下で行われ、成膜速度が速く、大面積基板への適用が可能です。それぞれのプロセスは用途や要求される特性によって使い分けられます。

この装置の用途は非常に多岐にわたり、半導体業界ではトランジスタやダイオードなどのデバイスの製造に利用されています。また、太陽光発電パネルの製造や、光学フィルム、バイオメディカルデバイスなど、多くの先端技術の材料としても活用されています。特に、エレクトロニクス分野では、微細加工技術の進展に伴い、ますます重要な役割を果たしています。

さらに、プラズマCVDは関連技術と密接に結びついており、さまざまな条件下でのスケールアップが可能です。たとえば、プラズマエッチング技術と組み合わせることにより、薄膜のパターン形成や加工が容易になります。また、他の成膜技術、例えばスパッタリングやALD(原子層成長)と組み合わせることで、さらなる機能性薄膜の開発が期待されています。

プラズマCVD装置の進化は目覚ましく、近年ではナノテクノロジーの進展に伴い、ナノスケールの薄膜形成が可能となっています。ナノ粒子を利用した新しい材料の開発や、特定の機能を持つ薄膜の製造が進められており、材料科学の革新を促進しています。また、環境への配慮から、水素フリーの前駆体の研発や、プロセスの省エネルギー化、そして生産プロセスの安全性向上に向けた技術開発も進行中です。

このように、プラズマCVD装置は、多様な素材や用途に対応しつつ、成膜技術の最前線をリードしています。今後も、新たな材料開発や応用分野の拡大とともに、その重要性は増していくと考えられます。研究開発の進展により、プラズマCVDの可能性はさらに広がり、未来の技術革新へとつながることが期待されています。過去の技術革新の遺産を引き継ぎつつ、新しい挑戦に取り組む姿勢が、今後の社会や経済にも大きな影響を与えるでしょう。


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※当市場調査資料(LP23MY3562 )"プラズマCVD装置の世界市場2025-2031:平行平板型PECVD装置、チューブ型PECVD装置" (英文:Global Plasma Enhanced CVD Equipment Market Growth 2025-2031)はLP Information社が調査・発行しており、H&Iグローバルリサーチが販売します。


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